每個純物質都有自己確定的三相點。根據相律，當純物質的氣－液－固三相共存時，確定系統狀態的自由度為零。將純物質沿氣－液飽和曲線改變溫度和壓力，當達到圖中C點時體系的性質變得均一，不再分為液體和氣體，故C點稱為臨界點。與該點相對應的溫度和壓力分別稱為臨界溫度（Tc）和臨界壓力(Pc)，圖中高于臨界溫度和臨界壓力的有陰影線的區域屬于超臨界流體狀態。超臨界流體狀態的性質有別于通常所稱的氣體和液體狀態，因此此狀態稱為流體狀態。 

　　穩定的純物質都有固定的臨界點，對于某物質臨界點應指明的數據除了臨界溫度和臨界壓力外還應指明與萃取相關的數據即臨界密度ρc。理論上來說很多流體都可作為超臨界流體使用，但實際上由于需要考慮應用的可能性，因此常用的超臨界流體并不太多。超臨界流體在密度上接近于液體，因此，對固體、液體的溶解度也與液體相接近，密度越大，相應的溶解能力也越強。同時超臨界流體在粘度上接近于氣體，擴散系數比液體大100倍，因此滲透性，能夠更快地完成傳質過程而達到平衡，從而實現分離過程。

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